KoganeiTex Co.,Ltd.
『半導体除害装置用 T型除害バーナ』

半導体・液晶パネル製造より排出される有害なデボガス(モノシランSiH4・TEOS・NF3)をT型除害バーナで燃焼、分解することが出来た。
後発企業としては他社との差別化を図る商品としてはアッピール度に乏しく、更なる高性能除害バーナを目指し地球温暖化の原因物質である4フッ化炭素CF4も分解率99%以上で処理達成可能にする加熱式除害装置の開発に成功した。
T型除害バーナは火炎温度1,500℃以上を確保し燃焼器の構造、耐久性など技術的な問題点をクリヤーし年内には初号機出荷の予定である。

 また近年未処理状態になっている有機塩素系農薬(アルドリン、エンドリン、ディルドリン、BHC、DDT)を無害化処理する高温焼却装置としても有望視されている。
数々のPFCガスを最適除害するT型除害バーナはJAXA殿と小金井テックスの共同開発を経て既に特許出願を実施しております。